以金属基板取代塑料基板制作柔性TFT阵列的技术研究开展较早。金属基板制作TFT的第一个工艺是减小金属表面的粗糙度，为此需要先期对金属进行抛光，抛光完成之后再利用传统工艺在其上制作TFT阵列。用金属基板制作柔性 TFT的主要优点是：工艺步骤简单，节约大量成本；不需要考虑温度过高的问题，适合标准的TFT工艺；耐用，化学性质稳定。但金属基板TFT的柔软性与塑料基板相比还有差距，另外，作为电子墨水电子纸这样的反射式显示器件，或OLED这样的发光显示器件的驱动TFT，透明度低的金属基板是可以胜任的。但要用于LCD等透射式显示器的驱动TFT却是有先天缺陷。