激光释放塑基电子技术

发布者:系统管理员发布时间:2013-07-01浏览次数:1189

塑料基板固定技术采取先将塑料基板固定在刚性基板上,待TFT制作完成后将其取下的方法。这种方法有效防止了温度过高时塑料基板的收缩。Philips开发的激光释放塑基电子技术(EPLaR)是这项工艺的代表。目前,EPLaR技术可以在聚酰亚胺(极限温度250 ℃)上利用传统工艺制作a-Si:H晶体管(标准沉积温度240 ℃),而多晶硅的制作方法还在讨论中。由于聚酰亚胺略显黄色,用它制造的TFT基板并不适用于透射式的大部分LCD显示器。但作为反射式的电子墨水电子纸或者发光式的OLED,采用EPLaR 工艺制作的聚酰亚胺柔性基板还是适用的。若选取其他合适的无色塑料作基板,EPLaR工艺柔性基板仍可用于柔性液晶显示器。另外,利用EPLaR技术制作其他非显示用柔性电子器件的途径也在研究中,并希望通过EPLaR最终实现全柔性(包括显示面板和外围控制电路)显示器。