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激光退火表面释放技术

发布者:柔性显示材料与技术湖北省协同创新中心发布时间:2013-07-01阅读:924

激光退火表面释放技术(SUFTLA)最成熟的工艺由EPSON公司开发。其思路就是先期将TFT阵列采用传统工艺制作在刚性基板上,然后将其取下粘贴到柔性基板上实现柔性TFT背板。整个过程中塑料基板都不会接触到高温工艺,有效解决了受热型变的问题。最早的SUFTLAT. Shimoda等人在1999 年提出,从2004年起SUFTLA工艺开始应用于电子墨水电子纸的柔性TFT背板制造。除了用于平板显示器TFT 背板制造之外,SUFTLA工艺还用来尝试制造柔性的指纹识别器、CPUSRAM。以期在不久的将来实现包括控制电路在内的全柔性显示器。

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